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洁净室四大技术要素

从洁净室的建造、使用和维护而言,洁净室有四大技术要素:

A、洁净室的净化空调系统至少应有粗效、中效和高效过滤器三级过滤措施。尤其是在终端应有高效过滤器(HEPA)或超高效过滤器(ULPA)。

B、洁净室送风应有足够的空调(消除室内余热、余湿)和净化(保持洁净度)送风量。其送风量不仅能消除室内的余热和余湿,保证室内的温度和相对湿度,同时还能消除或稀释室内的粒子污染,保证室内的洁净度要求。

C、洁净室必须建立和维持必要的相对压差(正压或负压)。

D、洁净室应有合理的气流流型,以保证其室内的洁净度和温、湿度等参数。

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